Project
반도체 웨이퍼 제조공정의 온톨로지 및 온디바이스AI 기반
자율운영 에이전트 시스템 기술개발 및 실증
2026.04 ~ 2028.12 | 한국산업기술기획평가원(Keit) 전자부품산업기술개발사업
반도체 웨이퍼 제조공정의 온톨로지 및 온디바이스AI 기반
자율운영 에이전트 시스템 기술개발 및 실증
2026.04 ~ 2028.12 | 한국산업기술기획평가원(Keit) 전자부품산업기술개발사업
제조공정의 멀티모달 센싱 데이터와 현장 문서를 통합하여, 공정 사건(Event) 중심의 온톨로지 및 지식그래프 기반 자율운영 에이전트 시스템 개발을 목표로 함
경량 VLM 및 Omni-Modal 온디바이스 AI를 활용하여 실시간 공정 모니터링, 이상탐지, 원인 추론 기능을 구현하고, FMEA 기반 인과 지식그래프를 통해 설명 가능한 판단 체계를 구축
시나리오 생성·평가 및 대화형 자율제어 에이전트를 포함한 멀티 에이전트 오케스트레이션 시스템을 개발하여, 반도체 제조 환경에서 실증 가능한 자율운영 통합 플랫폼을 구현하고자 함